为应对先进半导体制造对关键材料的极致要求，推动检测技术创新与产业链自主可控，?2026年1月15日?，由珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司联合上海市计量测试技术研究院有限公司（上海市电子化学品计量检测技术专业服务平台）、集成电路材料创新联合体主办的 ?“半导体电子特气发展趋势与检测技术创新交流会”? 在上海浦东新区成功召开。会议汇聚了产业链上下游企业及研究机构的?70余位专家代表?，围绕电子特气的技术挑战、创新检测方案与国产化发展路径进行了深度研讨与思想碰撞。
凝聚共识，展望合作?
会议伊始，珀金埃尔默大中华区分析与解决方案销售负责人 ?华长春? 先生致欢迎辞：
他强调了分析检测技术在保障半导体产业安全中的基石作用，并介绍了珀金埃尔默在核心仪器?国产化?方面的持续投入与最新进展，表达了深耕中国市场、服务本土产业创新的决心。
随后上海市计量测试技术研究院有限公司总经理助理、科技信息处处长，全国气体标准化技术委员会委员 ?陈鹰? 正高级工程师代表主办方致辞。
他指出，本次会议旨在搭建高水平的?产学研用对话平台?，聚焦电子化学品计量检测等关键环节，凝聚行业智慧，共同应对挑战，并与产业伙伴携手推动高质量发展。
专题报告：洞见挑战、方案与未来?
创新方案：
全流程质控与颠覆性技术突破?
珀金埃尔默半导体项目负责人 ?黄清发? 在《珀金埃尔默电子特气检测方案及国产化进程》报告中，系统介绍了从?原料检验（IQC）、过程监控（IPQC）到成品检测（FQC）的全流程质量控制解决方案?。该方案核心涵盖了气相色谱仪（GC）、气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）、傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）、紫外分光光度计（UV）及电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等先进仪器，可精准分析各类电子特气中的痕量杂质。
报告特别重点介绍了创新的气体直接进样-ICPMS（GDI-ICPMS）技术?。珀金埃尔默外聘专家 ?Tommy Lee? 在《GDI-ICPMS气体分析方案》报告中，通过详实的数据对比和应用案例（包括在韩国市场的成熟应用），充分展示了该技术相比传统鼓泡吸收法的颠覆性优势：?直接进样、无前处理污染、分析前处理时间仅需约5分钟、接近100%的金属杂质回收率、以及低于0.1 ppt的超高灵敏度?。GDI-ICPMS技术为半导体制造中金属杂质的精准、快速、安全监控提供了强大的支持。
产业图景：国产化进程的
“三维突破”与理性思考?
上海集成电路材料研究院有限公司材料研发实验室总监 ?孙猛? 博士在《电子特气国产化进程评估：技术、产能与市场格局的三维突破》报告中，全面评估了国产电子特气产业的进展。他指出，当前国内产业已在?技术、产能、市场?三个维度实现显著突破：
技术面?
产品纯度稳定达到?6N?并向更高水平迈进，部分关键技术实现自主。
产能面?
总产能快速增长，形成了长三角、珠三角等区域性产业集群。
市场面?
格局已从外资垄断演变为中外竞合，本土企业在头部晶圆厂的渗透率持续提升。
同时，孙猛博士也提醒行业需保持理性，关注部分品种可能出现的?产能规划过剩?风险，未来应加强?核心技术攻坚、产业链协同优化和市场理性布局?。
核心挑战：先进制程驱动检测迈入“ppt时代”?
上海市计量测试技术研究院有限公司材质中心高级工程师 ?魏王慧? 在其报告《半导体发展进程下电子气体分析技术要求与测试方法》中明确指出，随着制程节点迈向?3nm及以下?，半导体制造对电子气体的纯度要求已攀升至9N（99.9999999%）级?，对痕量杂质（水分、金属离子、颗粒物、酸碱污染物等）的检测灵敏度需求达到?ppb（十亿分之一）至ppt（万亿分之一）级别?。她系统阐述了当前分析技术面临的瓶颈，并指出未来将朝着?更高精度、智能化自动化、多功能集成与模块化、绿色安全以及标准国际化与国产自主创新?的方向发展。魏王慧高工介绍，其所在的实验室已具备覆盖各类气体的CMA/CNAS全项检测资质，是国内检测能力最全的专业气体分析实验室之一，为产业提供了有力的技术支撑。
圆桌论道：碰撞思维，共探前路?
在圆桌论坛环节，?孙猛博士、魏王慧高工?与特邀专家?汤剑波、宛志文?以及?Tommy Lee?同台，围绕 ?“国内半导体电子特气的市场前景”、“国产化进程的深化路径”、“标准化体系建设”以及“韩国电子特气市场及技术趋势”? 等热点议题展开了深入讨论。现场交流热烈，专家们的真知灼见为行业发展提供了多元视角和前瞻思考。
扎根中国：
珀金埃尔默的国产化实践与承诺?
作为行业的重要参与者与本次会议的支持方，珀金埃尔默以实际行动践行对中国市场的承诺。位于?苏州太仓的制造与供应链中心?自2017年投产以来，已成功实现了包括原子吸收光谱仪（AAS）、气相色谱仪（GC）、紫外可见分光光度计（UV）、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等多条核心产品线的本土化生产。通过持续构建?稳定可靠的本地化供应链体系?，并在生产全过程恪守?ISO9001国际质量体系?，珀金埃尔默确保了“中国制造”拥有“世界一流”的品质，致力于以更快的响应速度和更优的服务，为中国半导体材料产业的?高质量发展与供应链自主可控?提供坚实的技术保障。
本次交流会的成功举办，不仅为产业链各方提供了宝贵的知识分享与经验交流平台，更明晰了在先进制程牵引下，电子特气检测技术创新与产业协同发展的方向。珀金埃尔默期待与更多合作伙伴携手，以持续的?技术创新?和深入的?产业协作?，共同应对挑战，把握时代机遇，为中国半导体产业的核心材料自主化与长远发展贡献专业力量。
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