准分子灯是一种以准分子气体为发光介质的真空紫外/深紫外光源,通过高压放电激发特定混合气体(如氙、氪、氩与卤素的组合)形成不稳定的准分子,准分子衰变时会释放出单一波长的高强度紫外光子。它的核心特点是波长单一且可精准调控(常见波长包含172nm、222nm、308nm等),光子能量高,能实现裂解化学键、杀菌消毒、表面改性等特殊功能,广泛应用于半导体加工、精密清洗、医疗光疗、环保降解等领域。

在半导体光刻、尖端材料表面改性、深紫外光清洗及高效臭氧生成等领域,172纳米(nm)波段的真空紫外线正扮演着越来越关键的角色。然而,长期以来,一个核心痛点制约着该技术的精准化与产业化发展:如何对172nm这一特殊且极具挑战性的波长进行准确、可靠且便捷的功率测量?
近日,速德瑞成功交付了一台为客户深度定制的172nm专用紫外辐照计。这不仅是速德瑞在深紫外测量领域技术实力的又一次飞跃,更是对准分子灯全产业链,从光源研发、生产校准到终端应用的一次重磅赋能。 
速德瑞此次交付的定制款172nm辐照计,为解决用户需求而设计:
l 核心光学系统:确保172nm光高效、无损耗地传输至探测器。
l 专属探测与滤波:精密滤光片,仅对172nm附近波段具有高响应度,有效屏蔽其他波长干扰。
l 坚固与便携性:仪器结构坚固,兼顾实验室的精准与工业现场的耐用需求,搭配直观的触摸屏和数据记录功能。
这台专业的测量仪器,将成为推动准分子灯技术发展的关键“标尺”:
1.对准分子灯制造商:
l 研发优化:精确测量172nm数据并输出,加速新品研发与性能优化。
l 生产质检:实现出厂产品的标准化功率检测,建立质量信誉,提升产品附加值。
l 寿命测试:客观监测灯源在长期运行中的光衰情况,为寿命评估提供核心数据。
2.对下游应用客户:
l 工艺控制:在紫外光清洗、光氧化等应用中,精确控制辐照剂量,是保证清洗效果或反应程度一致性的关键。
l 设备维护:定期监测灯管输出,预测性更换灯源,避免因光源衰减导致的工艺失败或产品批量缺陷。
l 工艺开发:为新材料、新工艺的研发提供可量化、可复现的光源参数,缩短研发周期。

此次172nm紫外辐照计的成功交付,并非偶然。它源于速德瑞在紫外、可见、红外全光谱测量领域长达十余年的技术积淀,以及对客户个性化需求的深刻理解。从常见的UVA、UVB、UVC波段测量,到如今的172nm真空紫外极限挑战,速德瑞始终致力于为科研与工业客户提供最可靠的“光之度量衡”。
我们相信,精准的测量是先进制造的基础。速德瑞将持续聚焦紫外测量技术的深耕与创新,针对更多特殊波长、特殊场景的测量需求,提供从核心传感器到完整检测系统的定制化服务,助力前沿制造产业实现更高精度、更稳定可靠的工艺控制。
如需进一步了解定制化测量方案,欢迎随时联系我们。
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