网络直播|扫描电镜在半导体行业的应用
半导体工业由于半导体器件体积小、重量轻、寿命长、功率损耗小、机械性能好,因而适用的范围极广。然而半导体器件的性能和稳定性在很大程度上受它表面的微观状态的影响。一般在半导体器件试制和生产过程中包括了切割、研磨、抛光以及各种化学试剂处理等一系列工艺,在这些过程中,会造成表面的结构发生惊人的变化。
讲师介绍
讲师
江海燕
测试工程师
北京软件产品质量检测检验中心半导体元器件失效分析,包括点针工作站(Probe Station)、反应离子刻蚀(RIE)、微漏电侦测系统(EMMI)、X-Ray 检测(2D X-ray,3D X-ray)、超声波扫描显微就(SAT)、缺陷切割观察系统(FIB 系统)、体式显微镜、金相显微镜、研磨台(定点研磨,非定点研磨,封装研磨)、激光黑胶层取出系统(自动 decap,laser decap)、自动曲线追踪仪(IV)、切割制样模块、扫描电镜(SEM)、能谱成分分析(EDX)。
讲师
朱俊文
资 深扫描电镜应用专家
复纳科学仪器(上海)有限公司
1. 半导体行业市场规模与挑战
2. 半导体产品分类
3. 失效分析实际案例
会议时间:2022年3月18日 14:00-15:00
扫描二维码报名
会议联系人:李烨
联系电话:18516656177
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