详解一个宝藏光源：超宽光谱、超亮的激光驱动光源LDLS

在半导体检测等诸多应用中，宽光谱光源是必备物件。比较常见的有氘灯、钨灯、氙灯等，但这些传统光源却存在一些固有的问题。

光谱测量范围上，它们都无法在200 nm-800 nm范围内保持较高的输出；寿命、亮度和稳定性上，传统光源需要在使用几百小时或更短时间就进行重新校准，使用1000-2000小时后还需更换灯泡。

而归根结底，这些都是其发光原理而带来的“先天性”缺陷。传统光源为电致发光，即通过光源灯室电极加高压激发灯室中气体放电，从而发光。这种使用电极耦合产生等离子体的方式，在亮度、稳定性、UV波长覆盖、寿命上都有很大的限制。因此，从发光原理上进行变化，光源才有可能得到真正意义上的改善。

在这样的背景下，一个革命性的光源：激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS），在美国zhu名EUV光源公司Energetiq（现已被滨松集团收购），诞生了。

关于这个宝藏光源，5月15日滨松工程师带来了一场详细的解析：《超宽超亮革命性光源LDLS™的基础知识及应用介绍》。介绍了LDLS的原理、性能特点、典型应用案例，以及应用中的常见问题。今天小编为大家奉上视频回放，带着大家进一步了解这个颠覆性的技术！   

而LDLS产品（EQ-99X系列）也参与了近期光电汇举办的“5.16科研采购节”，看完讲座视频后，还有更多优惠在下方哦~不要错过~

内容导航

00:28  LDLS™产品简介 

02:51  LDLS™性能特点

14:34  LDLS™典型应用

24:20  LDLS™常见问题解答

31:50  Q&A

37:00  联系方式

观众提问精编

Q：光源使用都必须需要充氮气？还是使用紫外时充氮气？

LDLS光源输出大量深紫外光，200nm以下的深紫外光会使氧气转化为臭氧，同时臭氧会吸收240nm~270nm的深紫外光。因此，如需使用170nm~270nm的深紫外光，光源在使用时需要充入纯净氮气。同时，充入氮气也可以防止灯泡被空气中有机蒸汽污染。为了保证光学器件的洁净，氮气需要满足6级洁净度，充入氮气的气压需要保持在0.14 MPa。

Q：光源对环境的要求是什么？高稳定性指标能到多少？

光源对环境的要求：为了防止光源光窗和其他光学器件的污染，需要将光源在相对洁净的环境中使用。光源需要向外部散发热量，需要将光源放置在散热良好的空间中。

高稳定性指标能到多少：请参照EQ-99XFC的稳定性测试情况。

Q：光束特性是什么，是准直光么，发散角是多少？

EQ-99X是自由空间输出的点光源，NA=0.47；

EQ-77是自由空间输出的点光源，NA=0.5；

EQ-400是自由空间输出的点光源，NA=0.5；

EQ-99XFC是光纤输出，NA=0.22。

Q：发光器件是耗材么，后期需要怎么维护？

我们推荐每9千小时进行一次灯泡更换，灯泡更换需要返厂，更换完成后会重新老化校准保留测试数据。

Q：紫外波段使用时高纯度氮气流量1slm，消耗量非常大，是否可能封闭灯室减少氮气用量？

封闭灯室，需要通过胶水或者焊接的方式将灯室完全密封。灯室部分，需要对灯泡和光源部分进行更换和调整，而且EQ-77，EQ-400光源，还需要水冷部分，所以无法封闭灯室，只能通过流动的氮气。

Q：能做到150mm的大光斑么？

LDLS的特点是小光斑，高亮度，通过外置光学系统，可以将光束扩大到150mm，但是光束扩大后亮度也会相应降低，所以需要总体看扩大光束后亮度降低的情况能否满足实际需求。

（来源：滨松）