质量控制

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【导读】LAYERTEC大力保证当前和未来产品的质量。我们先进的测量设备用于监督基材和镀膜生产。例如我们定期测量表面形式表面粗糙度/整理质量光谱透射和反射率光谱相和GDD（如果适用）使用带...

LAYERTEC大力保证当前和未来产品的质量。

我们先进的测量设备用于监督基材和镀膜生产。

例如我们定期测量

表面形式

表面粗糙度/整理质量

光谱透射和反射率

光谱相和GDD（如果适用）

使用带OPO光源的宽带腔衰减设置，在宽波长范围内实现高端反射率测量

某些波长和脉冲长度的损伤阈值测量

精密光学测量工具

LAYERTEC的精密光学设备配有用于平面和球面曲面的干涉仪。具有λ/20（633nm）平坦度的平面衬底和形式公差为λ/10（633nm）的球形衬底可以提供干涉测量方案。

LAYERTEC还采用高性能Fizeau干涉仪和Twyman-Green干涉仪，在以下测量范围内对大光学元件进行形状公差测量：

平面：

Zda=300mm

测量精度：λ/100（546nm）的平坦度

球面：

Zgao=500mm，a

测量精度：λ/50（546nm）的形状公差

原子力显微镜（AFM）是一种有用的仪器，用于表征平均厚度小于5埃的非常光滑的表面。LAYERTEC有一个AFM来控制特殊的抛光过程，并根据要求提供检验协议。

镀膜测量工具

LAYERTEC的检测程序包括在120nm和20μm之间的波长范围内的涂覆光学器件的分光光度测量。使用PERKINELMER分光光度计Lambda950，Lambda750和Lambda19进行190nm至3200nm波长范围内的标准分光光度测量。对于超出该波长范围的测量，LAYERTEC配备了FTIR光谱仪（λ=1μm...20μm）和VUV光谱仪（λ=120nm...240nm）。

通过腔衰减时间光谱测量R=99.9...99.9995％的高反射率。实际上LAYERTEC配有各种CRDS测量系统，可用于355nm至1064nm的波长范围。此外，还提供了一种新颖的宽带CRDS设置，可以提供在220nm和2300nm之间的范围内的低损耗反射镜的反射率的测量。

LAYERTEC配备了具有ns脉冲的266nm，355nm，532nm和1064nm的LIDT测量设置。

Fraunhofer研究所IOFJena和激光中兴汉诺威公司也与光电技术研究所（Jena）合作，测量光学薄膜和散装材料的吸收和散射损耗以及激光损伤阈值测量。

FizeauInterferometer(SOLITONMiniFIZ300)

Interferometer(OptoTech)

AtomicForceMicroscope(DINanoscope)

Spectrophotometer

CavityRing-DownSetup

GDD-MeasurementSetup

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2004-09-12 09:23:05

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