Table stable 主动防震台/隔振台/防振台/隔震台
描述:HERZ-主动减震台/隔振台/防振台/隔震台是一款紧凑型动态隔振系统,可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的工作性能,使用简便,具有优异的隔振性能及通用性。用途为:显微镜隔震台|原子力显微镜AFM主动隔震台|干涉仪主动减震台|电镜主动防震台|电子天平减震台|轮廓仪防震台|扫描隧道显微镜STM主动隔震台|半导体设备减震台|激光设备防震台

工作原理
TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术,可以隔离6个空间方向的振动(包括水平方向和垂直方向),TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等,方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。
产品亮点:
六个自由度全方位隔振
研究级压电传感技术
即插即用系统
LCD实时显示(振动水平,重量分布等)
主动隔振性能突出
集成简便
专注科研,无需安装和维护
应用范围:
原子力显微镜
干涉测量
轮廓测量
3D轮廓仪
表面轮廓仪
纳米光子学
白光干涉仪
三维表面形貌分析仪
超景深显微镜
激光干涉仪
光镊应用
超高速光通信
升级选项:
工作台集成 (包括架子,监控器支架,键盘托盘等)
隔音箱集成 (如静噪器,AEK-2002及定制隔音设备)
定制面板尺寸及材料 (通常为阻尼铝板,面板可定制不锈钢,铁磁钢,可打孔)
振动器集成(激励源)
远程显示 (重量分布,内部电机调平,X/Y/Z轴振动水平,启动/关闭组件,开关隔振台)
远程电源 (免受电磁噪音或热量干扰)
技术参数:
型号:TS-150/LP ※可选:TS-150/LP/TP25
系统配置:完全整合
主动隔振范围:频率大致为 0.7 ~ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
幅度: 20 um (垂直和水平)
高度调节:自动
搬运或运输期间锁定:自动锁定功能
隔振条件:可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
安装板尺寸:400 (W) x 450 (D) mm
整体尺寸 (大约):400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
负载能力:150 kg(考虑到负载上的偏心重量,负载能力80% 范围内使用)
系统重量 (大约):18 kg
输入电压:90 ~ 120 VAC, 200 ~ 240 VAC, 43-60 Hz
功耗:隔振期间最大 10 W,负载调整期间最大 20 W
温度范围:5 ℃ ~ 40 ℃
相对湿度:10 ~ 90 %(5 ~ 30 ℃),10 ~ 60 %(30 ~ 40 ℃)
服务场所:仅用于室内
工作高度:高达2,000 m
选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔,有效攻丝深度: 6 mm
选项 2 遥控盒
选项 3 内置减振功能的高刚性框架
隔振效果:
性能对比图:AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像: 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。
报价:面议
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已咨询4000次主动式减震系统
SC26是第四代磁场抵消系统,被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场,通常在9kHz.
电镜消磁系统-SC24电子显微镜必须操作在符合自身对周围环境的交直流磁场规范的场地。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC24主动式磁场消除系统能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升电子显微镜的影像品质。
SC-22高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降。SC22系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成,并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。
Nano DT系列隔振系统是日本HERZ公司研发的一款精密空气隔振台,以便适应纳米技术时代的测量环境需求。
光学延迟线ODL是一款通过软件控制光路变化,实现空间光时延的装置。它非常适合应用于泵浦探测,自相关测量,超短激光脉冲测量(干涉与强度方法)。先进的音圈技术使ODL具有150纳米的精度。双向传输光程分辨率为1飞秒。响应时间可短至1毫秒。
隔音箱-隔声箱-AEK-2002经过现场测试和优化的隔音箱,旨在保护敏感仪器免受破坏性噪音的干扰。 AEK-2002可针对单个应用进行定制和升级,通过提供具体应用的隔音解决方案,为用户的研究仪器提供安静的操作环境以便进行高精度研究。
气浮除振台TDI 系列 TDI系列属于3D减振类型系统。该系列采用SHG空气弹簧减振技术,采用HERZ研发的精密空气弹簧和轻量高刚性蜂窝板,可隔离三维六个自由度的振动,为用户提供优异的被动隔振性能。
隔声箱-隔音箱-AEK-2011是Herzan迄今开发的大,性能高的工作站隔音箱,具有多方面应用,非常适合需要隔音的任何仪器。AEK-2011 具有超过58立方英尺的内部空间,是一款专门容纳大型SPM设置的高质量隔音箱,包括IO 显微镜,激光器,相机以及相关设备。