日本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106气体质量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106气体质量流量控制器适用于多种不同的产业应用，可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。

日本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106气体质量流量控制器产品简介：

基于多年来先进技术产品的市场发展经验，我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。

气体被广泛地运用于各种工业领域，从太阳能电池、燃料电池的研究和制造，这一获得巨大关注的再生能源项目获得全球各地的支持;到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为先进的制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。

日本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106气体质量流量控制器产品特征：

HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。

此型号适合各种小流量到大流量的需要。

流量控制范围为标定满量程的2～100%

高精度

■高精度(设定点为基准)MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

整个流量控制范围内都可实现高响应速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新的可变PID运算法则：1秒高速响应SEC-N100 系列搭载了新开发的“可变PID系统”，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。

多气体、多量程的解决方案

■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。

致力于成本考量，运用新的设计概念

作为N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具备超洁净处理以及压电陶瓷阀门的Z500系列产品。请注意，在没有通知的情况下，可能会对某些需要提高生产率的部件和产品工艺做出修改，但不会牵涉到改变产品的规格。