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HORIBA 真空紫外光谱仪 PGS/PGM 200

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产品特点

PGS/PGM 200光谱仪凭借优异的消像差设计,可实现一机两用,配合单通道探测器作为单色仪,配合CCD使用作为摄谱仪。

详细介绍


产品简介

PGS/PGM 200光谱仪凭借优异的消像差设计,可实现一机两用,配合单通道探测器作为单色仪,配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片平面光栅和一片超环面镜组成,为紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到4nm,与此同时,摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴,使CCD上接受的光通量大化。
 
技术特点
    HJY的消像差平面光栅结合超环面镜,同时兼顾高分辨率和低像差。
    在轴设计,光路易准直。
    出射光直射CCD表面,光通量大。
    只需更换出射狭缝和法兰,即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换,一机两用。
    支持超高真空10-9mbar,可接入同步辐射装置。

典型应用
    X射线光电子能谱
    等离子体物理研究
    高次谐波滤波
    紫外反射
    EUV光源表征

技术指标

三块标准光栅可选

54401010

1800 gr/mm 光栅,摄谱仪模式下

光谱范围:4-16.5nm (75-310eV) 或 4-26nm (47-310eV)

出射端口色散:0.4-0.68nm/mm

分辨率:0.2nm

54402010

800 gr/mm光栅,摄谱仪模式下

光谱范围:10-35 nm (35–124eV) 或10-56nm (22-124eV)

出射端口色散:1.0 – 1.14m/mm

分辨率:0.3nm

54406010

450 gr/mm光栅,摄谱仪模式下

光谱范围:16-65 nm (7–80eV) 或

16-103nm (12-77eV)

出射端口色散:1.7–2.7m/mm

分辨率:0.5nm

光学设计

HJY平面光栅加超环面镜光路设计

焦长

200 mm

孔径

f/17

分辨率

低至0.2nm

波长驱动

步进电机

高真空

10-6 mbar

真空泵法兰

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法兰

DN100CF/ICF152

可选项

狭缝

自动或固定

超高真空

10-9 mbar,配备DN100CF真空泵法兰和DN40CF真空计接口

 

 

单色仪模式下测得的30.4nm 氦谱线

附件
    前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配
    后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配
    样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品
    偏振插片
    制冷机,低至4K
    真空泵


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