Simco-Ion In-Line fusION 紧凑型离子产生器

Simco-Ion 的 In-Line fusION 是一款紧凑型离子产生器，能提供强大的静电控制，适用在半导体，平板显示，器件的精密制程和微细环境内，在有限的空间处理局部但要输送较远的区域静电问题。In-Line fusION 的安装，操作和维护十分简易，只须安放靠近工作区，连接电源，即可开始工作，消除区内的静电。自动平衡技术，无需调整或校准。这个惊人的细小紧凑装置使用钨金属静电针和提供警报输出，可集成设备系统作远端监控。利用设备电源可以多台串连工作Simco-Ion 标配的 24 VDC 电源适配器，可串联连接 5 台。

特点

透过长管把离子输送

紧凑的设计

电离状态指示灯和远端报警输出

单台电源可供应多台 fusION 离子产生器

选配风刀，风环和氮气 (N2) 套件

优点

方便处理较为难以碰触的目标地方

可装入制程设备内有限的紧闭空间

标准功能，方便用户操作

同一电源最多可串联 5 台 fusION 离子产生器，非常适合机内多个位置的静电防护

In-Line fusION 符合紧凑环境和洁净要求

技术参数

输入电压：24 VDC / 0.075 A

消散时间：<1秒@1000 - 100V（30 cm 延伸气管，2 bar 气压）

离子平衡：< ±50 V

工作模式：稳态直流

静电针材质：钨

符合洁净度：ISO 14644-1 Class 4

气量需求：0.023m3/min@0.34 bar-0.102m3/min@3.4 bar

吹气输入：Clean Dry Air (CDA) or Nitrogen

操作环境：15-50℃，20-65% RH (无冷凝)

封装：White Polycarbonate

体积：64 x 38 x 114 mm

重量：0.136 kg

证书：符合RoHS，CE，UL