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OP-AI系列气浮隔振光学平台

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详细介绍

• 固有频率:<1.2~2Hz

• 重复定位精度:±0.10mm

• 台面材料:SUS430高导磁不锈钢

• 台面厚度:100/200/250mm

• 平面度:≤0.05mm/m2

• 台面粗糙度:≤0.8μm,局部可达0.4μm

• 气浮支架:双层气室,3个真空管水平调节阀,四或六支撑腿

• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-20~+20mm

• 孔间距:25mm(机械打孔)

• 孔径:M6螺纹孔

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型号

规格(mm)

台面厚度(mm)

最大载荷(Kg)

OP-AI-0906

900×600×800

100

400

OP-AI-1208

1200×800×800

100

450

OP-AI-1510

1500×1000×800

200

550

OP-AI-1512

1500×1200×800

200

550

OP-AI-1609

1600×900×800

200

550

OP-AI-1812

1800×1200×800

200

600

OP-AI-2012

2000×1200×800

200

650

OP-AI-2015

2000×1500×800

200

650

OP-AI-2412

2400×1200×800

200

800

OP-AI-2418

2400×1800×800

200

800

OP-AI-2515

2500×1500×800

200

800

OP-AI-3012

3000×1200×800

250

1000

OP-AI-3015

3000×1500×800

250

1200

OP-AI-4015

4000×1500×800

250

1400

OP-AI-4515

4500×1500×800

250

1400

 

 

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