株式会社 富士金FUJIKIN FCS-P（压力式流量计）

FCS即流量控制系统（Flow Control System），是专为确立近年来半导 体制程中，

越来越受重视的蚀刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的稳定 性、再现性而开发出来的产品。

基本操作原理有别于传统的质量流量计， 这是一款经由压力控制，从而达到高精度流量控制目标的崭新产品。

FCS 能克服气体供应系统所产生的压力变动或干扰等制程上不稳定的因素，提 供给客户无限制且稳定的流量控制。