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美国Coherent EnergyMax-USB J-50MUV-193支持 USB 的 200 μJ 至 250 mJ 脉冲能量传感器，重复频率高达 200 pps，光谱范围为 0.19 至 2.1 μm，有效区域直径为 50 mm。带 MaxUV 涂层的热释电能量传感器，用于以高达 200 pps 的速度测量 200 μJ 至 250 mJ 的激光脉冲。直接 USB 接口。
这款 J-50MUV-193 能量传感器采用 MaxUV 涂层，并经过优化，可与 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器配合使用。该传感器直接在 193 nm 处校准，包括 193 nm 至 2.1 μm 的光谱补偿。
EnergyMax-USB J-50MUV-193 能量传感器端接在直接连接到 PC 的 USB 电缆中。DB25 模型 （PN 1146237） 可用。
大型散热器 （PN 1123432） 可用于通过提高平均功率能力来扩展 EnergyMax 传感器的能量和重复频率。
主要特点
19 至 2.1 μm 光谱范围
50 mm 有效区域直径
200 μJ 至 250 mJ 能量范围
200 pps 重复率操作
直接 USB 接口
ISO 17025 认证
产品规格
| 电缆类型 | USB接口 |
| 有效面积直径 | 50 毫米 |
| 探测器涂层 | ZDUV |
| 能量范围 | 200 μJ 至 250 mJ |
| 波长范围 | 190 nm 至 2100 nm |
| 噪声等效能量 | <20 微焦 |
| ZD热释电重复速率（每秒脉冲数） | 200 |
| 波长范围 （微米） | 0.19 至 2.1 |
| ZD平均功率（瓦特） | 10 |
| ZD脉冲宽度（微秒） | 86 |
| ZD能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 200（193 nm，10 ns） |
| 扩散 | No |
| 校准不确定度 （%）（k=2） | ±3 |
| 能量线性度 （%） | ±3 |
| 校准波长（纳米） | 193 |
| 电缆长度（米） | 3 |
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