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PFA晶圆盒是一种用于半导体制造和实验室中承载、清洗和存放晶圆片(硅片)的容器,具有耐腐蚀、耐高温、防污染等特性。
1. 材质与特性
材质:PFA(全氟烷氧基树脂)是一种高性能的氟塑料,具有优异的化学稳定性和耐高温性能。
耐腐蚀性:能够耐受强酸(如氢氟酸、王水)、强碱和各种有机溶剂,适用于半导体蚀刻和清洗工艺。
耐高温:使用温度范围广泛,通常在-200°C至+260°C之间,适合高温环境下的应用。
防污染:金属元素杂质含量极低(低于0.01ppb),满足高纯度实验要求。
2. 主要用途
半导体制造:用于承载和清洗晶圆片,适用于蚀刻、显影等工艺。
实验室应用:用于新材料研发、样品存放和清洗,确保实验环境的纯净。
太阳能电池:用于太阳能硅片的清洗和承载,材质稳定且不易变形。
3. 常见规格
尺寸:常见尺寸包括直径80mm、85mm、120mm、128mm等,可根据需求定制。
结构:通常为半透明一体成型,表面光洁无残留,便于观察和操作。



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