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LST300是一款亚微米级精密检测仪器,搭载3D线光谱共焦传感器或3D线激光轮廓传感器,广泛应用于微小结构及特殊材料的表面扫描与测量。光学检测系统采用大理石平台、减震装置、高性能直驱驱动、0.01um光栅尺、智能运动控制器、3D测量软件、显示器,键盘,鼠标,操纵杆和校准模块。该系统具备自动特征检测和轮廓提取,多坐标系测量,几何尺寸和形位公差(GD&T)测量等表面特征检测和分析功能。