193nmDUV深紫外单纵模固体激光器
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193nm深紫外单纵模固体激光器
德国xiton photonics公司是二极管泵浦固体激光器和非线性光学器件的专家。可以开发和制造几乎任何所需波长的可靠激光系统,重 点开发193nm的DUV深紫外固体激光器,总部位于德国,拥有20多年的激光器研发经验。
IXION 193 SLM是一款单频全固态激光系统,适用于光学计量、193纳米光学系统校准或高功率ArF准分子激光器带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅立叶极限。该193nm激光器的中心波长可在185和194 nm之间的范围内定制,订购时可配置为固定波长。

产品参数:
| Wavelength/波长 | 193.368 nm |
| Average power/平均功率 | 10 mW |
| Pulse duration/脉宽 | typ 8-12 ns |
| Energy per pulse/单脉冲能量 | 1.6 µJ |
| Repetition rate/重复频率 | 1-15 kHz |
| beam quality/光斑质量 | M² < 1.6 |
| Spectral bandwith/谱宽 | < 80 MHz |
| Spectral tunability/光谱可调谐范围 | > 10 pm |
| coherence length/相干长度 | > 2 m |
| Pulse to pulse stab./脉冲稳定性 | σ < 2.5 % |
产品特点:

波长稳定性

长时间功率稳定性

光斑质量

光谱特性
产品应用:
193 nm 计量/193 nm metrology
光谱仪校准/Spectrometer calibration
干涉度量/Interferometry
准分子激光器种子源/injection seeding of excimer lasers
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Ixion公司提供的193nm激光器为全固化单频激光器,193nmDUV深紫外单纵模固体激光器线宽达到<80MHz/0.01pm/0.0027cm-1,全固化单频激光器可用于光学计量、光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
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