聚四氟乙烯晶圆夹具支持定制

1. 核心材料：聚四氟乙烯

• 化学名： PTFE（Polytetrafluoroethylene），俗称“特氟龙（Teflon）”。

• 关键特性：

• 超高纯度： 几乎不含金属离子，避免污染晶圆。

• 好的化学稳定性： 耐受几乎所有强酸、强碱、有机溶剂（如氢氟酸、王水、硫酸等）。

• 优异的热稳定性： 工作温度范围广（-200℃ ~ +260℃）。

• 低的表面能： 不粘附，易于清洁，颗粒不易附着。

• 良好的电绝缘性。

2. 主要类型与结构

• 花篮/卡匣： 用于批量湿法清洗、蚀刻、去胶等槽式工艺。具有多个平行槽，可同时放置多片晶圆。

• 单片夹具： 用于单片清洗机或蚀刻机，一次处理一片晶圆。通常设计有精密的卡扣或支撑点，确保液体均匀覆盖。

• 手臂末端执行器： 机器人用于抓取和传输晶圆（通常为真空吸盘或机械夹爪），PTFE涂层或整体制成，防止接触污染。

• 挡片/假片： 用于填充空位、保护或工艺均勻性，也常用PTFE制成。

3. 应用场景

• 湿法工艺： 清洗、蚀刻、去光刻胶等，尤其在需要使用氢氟酸（HF）、热磷酸（H₃PO₄）、SC1/SC2 等强腐蚀性溶液的环节。

• 化学品存储与输送： 用于高纯化学品的容器、管道、阀门。

• 对金属污染极敏感的高端工艺： 如先进逻辑芯片、存储器的制造。

  
  

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