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FT110系列X射线荧光镀层厚度测量仪
- 品牌:日立
- 型号: FT110系列
- 产地:亚洲 日本
- 供应商报价:面议
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上海科学仪器有限公司
更新时间:2025-04-23 13:41:28
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销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照
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详细介绍
1.即放即测!
2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量!
3.可无标样测量!
4.通过样品整体图像更方便选择测量位置!
1. 通过自动定位功能提高操作性
测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。
2. 微区膜厚测量精度提高
通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
3. 多达5层的多镀层测量
使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4. 广域观察系统(选配)
可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
5. 对应大型印刷线路板(选配)
可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
型号
FT110
测量元素
原子序号Ti(22)~Bi(83)
X射线源
空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流:10~1000µA检测器
比例计数管
准直器
○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種
样品观察
CCD摄像头
对焦
激光对焦(自动)
滤波器
一次滤波器(自动切换)
样品区域
[固定]535×530 mm
[电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200 mm)测量软件
薄膜FP法(最大2层、10种元素)、检量线法
安全功能
样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能