6517B 静电计/高阻表

主要特性

电阻测量可达1018 Ω

电流测量范围10aA - 20mA

最小电流量程输入端压降<20μv>

200TΩ 输入阻抗

<3fa 偏置电流="">

测试速率高达425 rdgs/s

内置±1kV电压源

电压

常模抑制比（NMRR）：2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。

50Hz或60Hz2。

共态抑制比（CMRR）：直流时>120dB，50Hz或60Hz。

输入阻抗：>200TΩ，并联20pF电容，保护电容<2pF(1MΩ零检查)。

前置放大器输出端的小信号带宽: 典型值100kHz (–3dB)。

电流

输入偏置电流：<3fA（典型值）。

温度系数 = 0.5fA/°C，20pA量程。

输入偏置电流噪声：<750aA p-p (capped input)，带宽0.1Hz～10Hz， 阻尼。数字滤波器= 40读数，量程20pA。

输入电压降（典型温度±1°C）：

在20pA, 2nA, 20nA, 2μA与20μA量程时，<20μV。

在200pA, 200nA与200μA量程时，<100μV。

在2mA量程时，<.2mV。在20mA量程时，<5mV。

输入电压降温度系数：在pA, nA与μA量程时，<10μV/°C。

前置放大器建立时间(达到最终值10%)典型值：在pA量程时， 为0.5s (阻尼关闭)和2.0 s (阻尼开启)。在nA量程时，为15ms (阻尼关闭)；在μA量程时，为1ms (阻尼关闭)；在mA量程时， 为500μs (阻尼关闭)。

常模抑制比（NMRR）：在50Hz或60Hz3时，在各个量程均>60dB。