数字式气体质量流量控制器/流量计

数字式中量程气体质量流量控制器/流量计DC-M100C/M主要应用在量程范围从30SLM--100SLM之间气体流量的测量和控制，产品最*大耐压能达10Mpa，采用新型传感制作工艺，具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、耐压高、线性度好等优点，适用于绝大多数干燥、干净的气体（及少数腐蚀性气体）。

性能特点：
1、响应速度快     2、耐压3Mpa或10MPa

3、抗干扰性强     4、宽压力范围

5、流量控制精*准   6、数据传输距离远

技术参数：
气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）   SLM（标准升每分钟）

标准状况：温度--293.15K(20℃)   压力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示满量程

应用行业：

真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。