美国Panametrics OXY.IQ微量氧检测仪 多量程 用于半导体芯片等领域

美国Panametrics OXY.IQ微量氧检测仪产品简介：

oxy.IQ Panametrics 氧气变送器是一个可靠性和性价比较高的两线制回路供电变送器，可提供 4 到 20 mA 的线性输出。它有十个 ppm 氧含量测量范围(10、20、 50、100、200、500、1000、2000、5000 和 10000 ppm)和八个百分比范围(1、2、5、10、21、25、50 和 100%)。所有范围均可由用户进行选择。这一结构紧凑的变送器采用了久经考验的传感器技术，可准确测量各种气体中的 O2 含量，并且可用于危险(分级)环境。

美国Panametrics OXY.IQ微量氧检测仪产品应用：

oxy.IQ Panametrics 氧气变送器的一些典型应用包括如下：

• 手套箱净化和泄漏检测

• 天然气

• 半导体 wafer 机

• 涂层处理机

• 膜式空气分离器

• 惰性焊接气体

• 纯气态碳氢气流

• 气态单体过程监控

• 热处理和光亮退火

美国Panametrics OXY.IQ微量氧检测仪产品特性：

oxy.IQ 氧传感器是一种先进的原燃料电池，具有良好的性能、精度、稳定性和使用寿命。该电池的创新设计消除了潜在的负信号输出，并减少了污染源。

该电池不受其它背景气体或碳氢气体的影响，可与酸性气体相容(OX-2 和 OX-4 电池)。从 ppm 级的低氧含量恢复到空气级氧含量只需几分钟。由于电池采用了一体化设计，所需的维护很少。并且无需更换电解液或清洁电级。

oxy.IQ 具有以下特性：

• 两线制回路供电的 4 到 20 mA 变送器

• 通过键盘显示

• 本质安全选件(待认证)

• 久经考验的原燃料电池 O2 传感器技术

• 可选择的 ppm 和百分比氧含量范围

• 用户友好且直观的界面，具有诊断功能

• 基于微处理器的全数字化技术，实现可靠运行

• 低维护、经济实用、结构紧凑

• 传感器故障输出错误

• 传感器寿命指示

• NAMUR 错误指示

美国Panametrics OXY.IQ微量氧检测仪技术参数：

1、本质安全 (IS) 安装：本质安全安装 (正在等待认证)需要 MTL7706 齐纳阻挡层

和 IS 电缆。

1.1、电源要求：24 到 28 VDC， 50 mA

1.2、电缆：p/n 704-1318，蓝色外套，双绞线，接头;26 AWG 接头，2 m或10 m标准长度

1.3、输出：使用齐纳阻挡层时总负载需要等于 250 Ω ±5%

2、耐火性 (Div 2) 和一般用途安装：不使用齐纳阻挡层。

2.1、电缆：p/n 704-1317，蓝色外套，双绞线，接头;26 AWG 接头，2 m或10 m标准长度

2.2、电源要求：9 到 28 VDC 回路电源，蕞大 0.7 W

3、全部安装：

3.1、工艺浸湿材料：SS工艺单元：316不锈钢，Viton® O形环，镀金传感器电触点和玻璃

3.2、用户可选的测量范围：

• PPM 传感器：

- 0 至 10 ppmv O2(仅 OX-1 或 OX-2)

- 0 至 20 ppmv O2(仅 OX-1 或 OX-2)

- 0 至 50 ppmv O2(仅 OX-1 或 OX-2)

- 0 至 100 ppmv O2

- 0 至 200 ppmv O2

- 0 至 500 ppmv O2

- 0 至 1000 ppmv O2

- 0 至 2000 ppmv O2

- 0 至 5000 ppmv O2

- 0 至 10,000 ppmv O2

• 百分比传感器：

- 0% 至 1% O2

- 0% 至 2% O2

- 0% 至 5% O2

- 0% 至 10% O2

- 0% 至 25% O2

- 0% 至 50% O2

3.3、精度：

• 校验点处为量程的 ±1%

• 对于 0 至 10 ppmv O2 量程 (OX-1, 2)，校验点处为量程的 ±2%

3.4、重复性：

• 量程的 ±1%

• 对于 0 至 10 ppmv O2 量程 (OX-1, 2)，为量程的 ±2%

3.5、分辨率：量程的 ±0.1%

3.6、线性度：量程的 ±2% (OX-1, 2, 3, 5);量程的 ±5% (OX-4)

3.7、O2 传感器工作温度：32°F 至 113°F(0°C 至 45°C)

3.8、采样压力：在操作和校验时排空为大气压力

3.9、大气压力影响：读数的 ±0.13%/mmHg(与绝压成正比)。校验过程中，压力和流速需要保持恒定。

3.10、工艺连接：1/8” NPT-F 入口和出口

3.11、尺寸：4.10 in. x 2.75 in. x 2.05 in.

3.12、重量：1.35 lb (612 g)

3.13、采样流速：建议为 1.0 SCFH (500 cc/min)

3.14、电气分级 (待认证)：

• 带有齐纳阻挡层的本质安全包装：

• 美国 / 加拿大

IS for Class I, II, III, Div. 1, Groups A, B, C, D, E, F, G, T6

AEx ia IIC T6; Ex ia IIC T6; Tamb -20 to +60°C

• EU ATEX 和国际 IECEx

Ex ia IIC Ge T6

Ex ta IIC De T85C; Tamb -20 to +60°C

• 标准套件;耐火性，不使用齐纳阻挡层或电隔离器：

• 美国 / 加拿大

Class I, Div. 2, Groups A, B, C, D, T6

• ATEX/IECEx

Ex na IIC T6

• 防水 / 防腐蚀：

Type 4X

IP66

3.15、符合欧洲标准：符合 EMC 标准 2004/108/EEC

外形尺寸和安装：