规格参数：

可用量程：大0-1000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm

工作温度：-10°C至+60°C

大内部压力（静态）：45 psig（60 psia）

大差压（进口至出口）：15 psid

耐受压力：175 psig（190 psia）

应用场景：

计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。