流量测量准确度 ±2%读数或1%的满度值,以较低者为准(20%至100%满度值) 流量测量线性 0.5%满度值 流量测量重复性 ±2%读数或1%的满度值,以较低者为准(20%至100%满度值) 零气流量 5或10(准标)或20slm 标气流量 50或100(标准)或200sccm 渗透炉温度 30或35或45℃±0.1℃ 臭氧源速出浓度 6ppm-liters(稳定性和重复性满足或超过U.S.EPA的要求)
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