Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的选择. CDG100D真空计是在 100°C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有的性能.可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体,等离子和真空应用.
优势:
拥有成本低, 预热快 50%, 能效高,低功耗
易集成,规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点
简易的一键按钮或运距讯号调零指令,零点偏移可调整
诊断口用于快速服务和维护
两年保用期,带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命
由于讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子
应用中也无长期再校准的需要
兼容性和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途:
刻蚀, PVD, CVD 和其它半导体过程
化学和腐蚀性的高温过程
一般薄膜和真空过程要求的真空计保护
订货号:
Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
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“Cryospectra Cryo cooler cryogenic systems设备维修”指的是对一个技术复杂、集成度高的机械式低温系统的全面检修,其维修难度和涉及的范围通常远大于简单的液氮式低温陷阱。如果您遇到这个问题,需要专业的低温设备工程师进行诊断和维修。
Cryospectra CryoTrap 是一种利用低温(超低温)表面来捕获、冷凝或冻结气体流中特定组分的科学装置。您可以把它想象成一个极其高效的、可精确控温的“低温过滤器”。 它的核心目的是从气流(如真空系统、气相流路)中有选择性地分离出不需要的蒸汽(如水汽、溶剂蒸汽)或目标物质,从而达到纯化、浓缩或保护下游设备的目的。
1.显示方式:大型指针式表头,清晰易读。左侧为设定温度指针(SET),右侧为当前实际温度指针(PV)。 2.控制输出:通常采用继电器接点输出 或 SSR(固态继电器)驱动信号输出(DC 12V, 40mA),用于控制加热器。 3.传感器输入:兼容 K型热电偶(CA),这是*常见的一种。 4.控制方式:经典的 ON/OFF(开关式)控制 或 PID控制(部分型号)。EXK-2112通常以ON/OFF
标准数字 MFC 快速响应时间: ≤1Sec 高精度: ≤1% of S.P 耐腐蚀性: STS316L VIMVAR 光亮退火 支持MGMR功能 通讯:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
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