ZY的高精密运动台设计: IXY系列高精密运动平台优化了高刚性和高动态性能设计，满足ZG动态性能要求的各种应用，是适用于光学、生化、电子制造等领域的理想的双轴高精密运动系统。
ZY的精度和稳定的性能: IXY系列运动平台具有高精度和高运动性能等特点。瑞荧公司基于高精度机械和运动控制相结合的先进整体系统设计，生产出高精度和高性能的单轴、双轴、多轴高精密运动平台。
产品特点
结构精巧的双轴高精密运动平台
双电机可实现高产量
高刚性，良好的兼容性
导向精度高，JZ定位
产品应用
二维激光加工
激光直写
光学测量
自动显微镜
IXY100 | IXY200 | |
行程 | 100mm | 200mm |
精度 | -P: 1.0μm -C: 1.5μm | -P: 1.5μm -C: 2.0μm |
重复定位精度(3σ) | -P: 0.3μm -C: 0.6μm | -P: 0.5μm -C: 0.8μm |
运动分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm | AA: 10nm DS: 200nm |
ZD速度 *2 | 200mm/s | 300mm/s |
ZD加速度 *2 | 0.5g | 0.5g |
水平方向直线度 | 1.5μm | 3μm |
垂直方向直线度 | 2μm | 4μm |
偏航角 | 15μrad | 30μrad |
俯仰角 | 50μrad | 100μrad |
装载质量 *3 | 10kg | 20kg |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
型号示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型号说明:
系列 | 行程 | 光栅尺类型 | 编码器输出 | 电缆输出 |
IXY | 100: 100X100 | -P: Invar Based Scale | AA: Sin/Cos | -CMS: With CMS Box |
200: 200X200 | -C: Gold Tape Scale | DS: 100nm A/B/Z | -C01: 1m Cable | |
DC: Customize | -C03: 3m Cable |
1、根据精密运动平台参数和应用要求，提供不同的控制系统方案。
2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。
| 系列 | S | A | H | M |
IXY100 | 100 | 255 | 102 | 150 |
IXY200 | 200 | 365 | 102 | 200 |
| 单位 | (unit in mm) |
报价：面议
已咨询357次位移台/扫描台/旋转台
报价：面议
已咨询278次位移台/扫描台/旋转台
报价：面议
已咨询258次位移台/扫描台/旋转台
报价：面议
已咨询191次位移台/扫描台/旋转台
报价：面议
已咨询139次虹威科技HOWELE
报价：面议
已咨询414次电解液倾角传感器
报价：面议
已咨询69次科研模型
报价：面议
已咨询101次测径仪
• 紧凑、高效的新型深紫外光源 • 深紫外光可与蛋白质和 DNA 有效相互作用，从而实现大面积和液体的有效灭菌。 • 深紫外激光二极管解决了传统紫外激光源的局限性，例如体积大、能效低，为移动和多样化传感应用铺平了道路。
高精度 可重复性调焦 高出光质量 抗干扰能力强
功能高度集成 精准测试 宽动态范围 操作简单
噪声低 高增益 高带宽 结构紧凑 内置低噪隔离电源
噪声低 高增益 高带宽 结构紧凑 内置低噪隔离电源
容量均衡 高精度与重复性 自动化与集成化 应用普适性
宽波段高透射率（超过70%） 多个倍率可以选择
高度集成 光谱兼容广泛 模块化 高成像能力
营业执照已审核
分享
收藏
沪公网安备 31011502008050号