| 增益介质 | ArF | KrF | |
| 波长 (nm) | 193 | 248 | |
| 高压开关技术 | 固态开关 | ||
| ZG脉冲能量 (mJ) | 10 | 15 | |
| 空间相干性 ( 光斑竖直方向 )( m) | >300 | ||
| ZG平均功率 (W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
| ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
| ZG重频 (Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
| ATLEX-500-I | 500 | ||
| 脉冲宽度 (ns) | 5 - 8 | ||
| 光束尺寸 (mm) | 4×6 | ||
| 光束发散角 (mrad) | 1×2 | ||
| 能量稳定性 (rms) | 3% | ||
| 外形尺寸 (mm, L×W×H) | 540×470×300 | ||
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Spectro-UV的使命简单而重要：通过行业领先的紫外线（UV）产品让世界变得更安全。 无论是无损检测 （NDT）、实验室和生命科学、法医调查还是航空航天应用，Spectra-UV的高质量紫外线技术都为广泛的关键行业树立了标准。
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