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IXY100CA 双轴中空运动平台

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详细介绍

技术参数

型号

IXY100CA

行程

100mm

精度

1.0μm

重复定位精度(3σ)

0.5μm

运动分辨率 *1

AA: 10nm

DS: 200nm

最大速度 *2

200mm/s

最大加速度 *2

0.5g

水平方向直线度

2μm

垂直方向直线度

2μm

偏航角

15μrad

俯仰角

50μrad

装载质量 *3

10kg

 

*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率,欢迎垂询。

*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度,欢迎垂询。


尺寸









 


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