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德国普发检漏仪 ASM390 / 392

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德国普发检漏仪 ASM390 / 392 核心参数
最小检漏率 1 · 10-13 Pa m³/s 启动时间 2min

产品特点

氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准
6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用

详细介绍

ASM390 / 392

产品优势

客户收益

   

可操作性高、设计紧凑

即使在狭小的空间中也可轻松进入测试区域

在同级别前级泵中具有最 高抽速 (35 m3/h) 以及高氦气抽速 (10 或 25 l/s)

快速、准确、可靠的泄漏检测

集成置物空间,可存放工具、真空波纹管和配件等

便于配件使用及管理

选型资料下载
说明书下载

Pfeiffer Vacuum

Units

ASM 392

Test Method


Vacuum & Sniffing

Detectable gases


4He,3He,H2

Min detectable leak – vacuum

mbar l/s

≤ 1 · 10-12

Min detectable leak – sniffing

mbar l/s

≤ 1 · 10-8

Pumping speed for He

l/s

25

Maximum inlet test pressure

hPa

20

Backing pump type

type

friction-less ACP pump

Backing Pump Capacity

m3/h

35

Communications Interface


RS232, Digital, Analog

Start-up time (20° C)

min

<2

Operating Temp

celsius

10° to 35°

Dimensions

mm

1072 x 454 x 1025

Weight

kg

130

    移动式氦质谱检漏仪ASM392行业: 大腔体,快节拍的应用。


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