高真空磁控溅射永磁靶头（公、自旋转靶头）

产品型号

SKCC-GZB-X（高真空磁控溅射公、自旋转靶头）

产品规格

1寸，SKCC-GZB-1

2寸，SKCC-GZB-2

3寸，SKCC-GZB-3

4寸，SKCC-GZB-4

注：其它尺寸可以订制

主要特点

1、转靶带挡板（可实现每次露出一个工作的靶，避免交叉污染）；

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布；

3、转靶转速5~60转/分可调；

4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配；

5、安装采用标准真空法兰（CF金属密封或Dg胶圈密封可选）；

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC；2、射频RF