-
-
高真空磁控溅射永磁靶头(自旋转靶头)
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: SKCC-ZZB-X
- 产地:沈阳
- 供应商报价: 面议
- 沈阳科晶自动化设备有限公司 更新时间:2024-04-26 08:08:29
-
企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品真空泵组(38件)
联系方式:吴女士024-23826163
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
SKCC-ZZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(自旋转靶头)适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。1、转靶带挡板(可电动控制,可手动控制);
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布;
3、转靶转速5~60转/分可调;
4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头,便于操作。
6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度产品型号
SKCC-ZZB-X(高真空磁控溅射自旋转靶头)
产品规格
2寸,SKCC-ZZB-2
3寸,SKCC-ZZB-3
4寸,SKCC-ZZB-4
5寸,SKCC-ZZB-5
6寸,SKCC-ZZB-6
7寸,SKCC-ZZB-7
主要特点
1、转靶带挡板(可电动控制,可手动控制);
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布;
3、转靶转速5~60转/分可调;
4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头,便于操作。
6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。
配套电源
1、直流DC;2、射频RF
- GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪
- VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪
- 三靶磁控溅射仪
- 多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM
- 美国Lake Shore CCS-XG-UHV低振动超高真空低温恒温器
- 美国Lake Shore ST-400超高真空型低温恒温器
- QuadraProbe - 超高真空低温四探针SPM
- DENTON 磁控溅射及电子束蒸发薄膜沉积平台
- Ulvac爱发科磁控溅射镀膜机SH-350E
- Ulvac磁控溅射镀膜机SH-350E
- 磁控溅射系统NSC-4000,NSC-3500,NSC-3000,NSC-1000
- 磁控溅射镀膜机 NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统 那诺-马斯特