精密液体气相发生器

精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵来控制，ZD流量为80ml/min，精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是JJ的研究设备。精密液体气相发生器操作视频1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。
2、采用30段程序化控温。
3、气体流速通过浮子流量计控制。
4、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强。
5、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出。
6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。
7、已通过CE认证。