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晶棒及晶片角度测量仪
- 品牌：沈阳科晶
- 型号： DX-7系列
- 产地：沈阳
- 供应商报价： 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间：2024-04-26 08:08:29 -
企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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联系方式：吴女士024-23826163
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- 详细介绍
DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台，可同时进行操作，用于对晶棒及晶片的角度进行测量。
设备构造：设备分为落地式一体机。
外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1200（高）mm。
样式1
样式2
样式3
功能
可测量晶棒的端面和柱面，也可以测量晶片。
带有六方型刻度贴片板，可测量晶片端面
可测量晶片参考边
被测晶体尺寸
2-6寸晶棒、长度L≤320mm，2-6寸晶片。
2-6寸晶棒、长度L≤100mm，2-6寸晶片。
2-6寸晶片。
工作台图片
配套夹具
①V型夹具（测量晶棒端面时使用）
②底板（测量有参考面的晶棒端面时使用）
无需夹具
无需夹具
工作台：以上是常见工作台，可根据客户需要，任选以上2种样品台进行组合，也可以双侧一样，还可以根据被测的晶体尺寸，及晶体被测方位来特殊设计。
DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表
型 号
DX-7B
DX-7BG
设备精度
设备综合精度为±30″
（以供方提供的标准石英片10ī1面测量）
设备综合精度为±15″
（以供方提供的标准石英片10ī1面测量）
最小读数
10″
仪器配置
DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分；由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。
技术指标
（1）X射线发生器部分：
X射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。
ZD管电压：30KVP，全压合闸。
管电流：0—5mA 连续可调，使用2.0mA以上，有可能损坏X光管并加大辐射危害。
（2）输入电源：单相交流220V，50Hz，整机总耗电功率不大于0.3 KW 。
（3）角度测量范围：
2θ角：－10～+110° θ角:-5～+55°。
衍射方式
单衍射
双衍射
放大系统
传统放大器
新型放大器
接收系统
计数管计数率为104/秒
计数管计数率为108/秒
（是普通系列的1万倍）
接收器寿命
1年
3年以上
X光管寿命
按照国家标准400小时
（X光管可以使用3-4个月）
是正常使用状况下的2-3倍
（X光管至少可以使用一年）
X管电流强度
1-1.5mA
0.5-1.0mA
测量和使用效果
X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰，影响准确度。需要经常更换X光管，影响生产效率。
可以滤掉X光管的杂峰，不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右，不需要频繁调整机器。
精度
精度±30秒（或±0.008度）
精度±15秒（或±0.004度）
辐射
测量时使用 mA量越来越大，射线辐射量较大。
测量时使用 mA量小，射线辐射量较小。
