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上海致东全光谱椭圆偏光测厚仪

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产品特点

由椭圆仪校正
量测色度坐标
量测时间1-3s ,精确度高
国内自行研发,价格合理
量测膜厚(N.K)值 .量测穿透率(T%).反射率(R%)
FFT for very thick layer (up to 50 um)

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上海致东全光谱椭圆偏光测厚仪

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