控制器

型号

IM-7500

类型

控制器

拍摄元件

1 型 660 万像素 黑白 CMOS

显示器

10.4 型 LCD 显示器(XGA：1024 × 768)

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

IM-7010: 200×200 mm(4 角 R50)
IM-7020: 200×200 mm(4 角 R50)
IM-7030: 300×200 mm(4 角 R50)

高精度测量模式

IM-7010: 125×125 mm
IM-7020: 125×125 mm
IM-7030: 225×125 mm

最小显示单位

0.1 µm

重复精度

广视野测量模式

座标台未移动

±1 µm

座标台移动

±2 µm

高精度测量模式

座标台未移动

±0.5 µm

座标台移动

±1.5 µm

测量精度 ±2σ

广视野测量模式

无连接

±5 µm^*1

有连接

IM-7010/IM-7020: ±(7+0.02 L) µm^*2
IM-7030: ±(7+0.02 L) µm^*3

高精度测量模式

无连接

±2 µm^*4

有连接

IM-7010/IM-7020: ±(4+0.02 L) µm^*5
IM-7030: ±(4+0.02 L) µm^*6

动态光探头测量

可测量范围(XY)

IM-7010: -
IM-7020: 90×90 mm
IM-7030: 190×90 mm

ZD测量深度

IM-7010: -
IM-7020: 30 mm
IM-7030: 30 mm

动态光探头直径

IM-7010: -
IM-7020: ø3 mm
IM-7030: ø3 mm

测量力

IM-7010: -
IM-7020: 0.015 N
IM-7030: 0.015 N

重复精度

IM-7010: -
IM-7020: ±2 µm^*7
IM-7030: ±2 µm^*7

测量精度

IM-7010: -
IM-7020: ±(8+0.02 L) µm^*8
IM-7030: ±(8+0.02 L) µm^*9

外部遥控输入

无源触点输入(有接点/无接点)

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 输出
额定负载 24 VDC 0.5 A
ON 电阻 50 mΩ以下

接口

LAN

RJ-45(10 BASE-T/100 BASE-TX/1000 BASE-T)

USB3.1

4 组(背面：4 组)

USB2.0 系列A

2 组(正面：2 组)

存储

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

IM-7010: 4 分割环状照明
IM-7020: 4 分割多角度照明(电动)、环状(指向性)照明(电动)
IM-7030: 4 分割多角度照明(电动)、环状(指向性)照明(电动)

XY 座标台

移动范围

IM-7010: 100×100 mm(电动)
IM-7020: 100×100 mm(电动)
IM-7030: 200×100 mm(电动)

承受负重

IM-7010: 5 kg
IM-7020: 5 kg
IM-7030: 7.5 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm(电动)

电源

电源电压

100 至 240 VAC 50/60 Hz

消耗电流

430 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+10 至 35℃

相对湿度

20 至 80%RH(无凝结)

重量

控制器: 约 8 k
测量头: 约 30 kg (IM-7010)、约 31 kg (IM-7020)、约 33 kg (IM-7030)

^*1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃的情况下
^*2 在 180×180 mm( 4 角 R40) 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 2 kg 以下时，L 为座标台移动量( mm)
^*3 在 280×180 mm( 4 角 R40) 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 3 kg 以下时，L 为座标台移动量( mm)
^*4 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃的情况下
^*5 在 120×120 mm 范围内，于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 2 kg 以下时，L 为座标台移动量 (mm)
^*6 在 220×120 mm 范围内，于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 3 kg 以下时，L 为座标台移动量 (mm)
^*7 采用标准检测方法或采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm
^*8 采用标准检测方法、环境温度 +23℃±1℃、座标台载重 2 kg 以下时，采用适用于较深位置的检测方法时为 ±(10+0.02 L) µm，L 为测量长度 (mm)
^*9 采用标准检测方法、环境温度 +23℃±1℃、座标台载重 3 kg 以下时，采用适用于较深位置的检测方法时为 ±(10+0.02 L) µm，L 为测量长度 (mm)