测量头

型号

VK-X3100

类型

测量头

综合倍率

42 至 28800 倍^*1

视野范围

11 至 7398 μm

测量原理

激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉

激光光源波长

半导体激光 404 nm

ZG激光测量速度

面 ：125 Hz、线 ：7900 Hz^*2

激光ZD输出

0.9 mW

激光等级

2 类激光产品（GB7247.1）

激光受光元件

16 bit 感应光电倍增器

白色光源

白色 LED

白色光受光元件

超高精细彩色 CMOS

激光共聚焦

高度显示分辨率

0.1 nm

高度重复精度 σ

10 倍 ：100 nm、20 倍 ：40 nm、50 倍 ：12 nm

高度准确性

0.2+L/100 μm 以下^*3

宽度显示分辨率

0.1 nm

宽度重复精度 3σ

10 倍 ：200 nm、20 倍 ：100 nm、50 倍 ：40 nm

宽度准确性

测量值 ±2% 以内^*3

聚焦变化

高度显示分辨率

0.1 nm

高度重复精度 σ

5 倍 ：500 nm、10 倍 ：100 nm、
20 倍 ：50 nm、50 倍 ：20 nm

高度准确性

0.2+L/100 μm 以下^*3

宽度显示分辨率

0.1 nm

宽度重复精度 3σ

5 倍 ：400 nm、10 倍 ：400 nm、20 倍 ：120 nm、
50 倍 ：50 nm

宽度准确性

测量值 ±2% 以内^*3

白光干涉

高度显示分辨率

0.01 nm

宽度显示分辨率

0.1 nm

Surface Topography Repeatability

0.08 nm^*4

Repeatability of RMS

0.008 nm^*4

分光干涉膜厚测量

重复精度 σ

0.1 nm^*4

准确性

±0.6%^*4

光学观察

像素数

560 万

转换器

6 孔电动镜头转换器

适用于环形照明的镜头

2.5 倍、5 倍、10 倍

光学变焦

1 至 8 倍

XY 载物台结构

手动运行范围

70 × 70 mm

电动运行范围

100 × 100 mm

电源

电源电压

100 至 240 VAC、50/60 Hz

消耗功率

150 VA

环境抗耐性

环境温度

+15 至 28°C

相对湿度

20 至 80% RH（无凝结）

重量

约 13 kg

^*1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时）
^*2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。
^*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时
^*4 基恩士规定测量环境下的代表值。