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柜式微波PLASMA清洗系统

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柜式微波PLASMA清洗系统 核心参数
自动化: 手动 射频功率: 1000W±5% 可调
频率: 2.45GHz
详细介绍

微波等离子清洗系统广泛应用于晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、引线框架、IGBT模块、带治具的MEMS传感器、射频器件等领域的表面处理

产品优势
1.频次高,可精细化清洗,多应用于先进封装和晶圆极封装;
2.等离子腔内360度运动,清洗彻底;
3.等离子密度大,同等时间内清洗效果好。
4.腔内无电极
5.可反复清洗,不伤产品。
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