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TEFLON硅片承载器保护晶圆无颗粒无析出耐受酸碱

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详细介绍

PFA花篮
一、产品简介
PFA硅片承载器在半导体行业中起到了重要的作用。PFA是一种具有优异耐化学性和高温稳定性的材料,非常适合用于半导体制造过程中的承载器。

在半导体制造过程中,PFA硅片承载器被用来保护和运输硅片。硅片是半导体制造中***关键的元件之一,承载器的作用是确保硅片在制造过程中不受损坏或污染。

PFA硅片承载器具有以下作用:

1.保护硅片表面:PFA材料具有很低的粘附性,可以有效防止硅片与承载器表面粘连,防止刮伤和污染。

2.提供稳定的环境:PFA硅片承载器可以提供稳定的温度和湿度环境,确保硅片在制造过程中不受到温度变化、湿度变化和其他环境因素的干扰。

3.方便的处理和操作:PFA硅片承载器具有较低的表面能和光滑的表面,易于清洁和处理,方便操作人员在制造过程中进行硅片的装载和卸载。

4.高纯度材料:PFA材料具有优异的化学稳定性,无论是在制造过程中使用的化学品还是气体,PFA材料都能提供良好的化学抵抗性,有助于保持硅片的纯净性。

二、产品特性
1.半透明方便观察
2.耐高温:使用温度-200~+260℃;
3.本底值低,无颗粒物析出;
4.具有好的化学耐受性,可耐受大多数的化学溶剂(耐强酸、强碱、王水和各种有机溶剂);
三.产品用途
用于半导体硅片、晶片、玻璃、液晶屏等清洗、腐蚀的承载花篮;用于太阳能电池硅片清洗设备中,用于承载方形太阳能电池硅片。本产品可在100℃以下的NaOH溶液、HCl溶液、HF等溶液中对硅片进行清洗、转换,且长期使用不变形、不污染硅片。目前的尺寸有,6寸25片、4寸25片,2寸25片的清洗花篮,单梁双梁提手。
目前硅片承载器形式有很多种,我公司也可开模定制方形、圆形晶片清洗容器。
南京滨正红仪器有限公司

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