Thorlabs NanoMax™ 6轴挠性位移台，纳米定位，行程4mm

特性

● X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)

● θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)

● 公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰

● 平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性

● 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准

● 压电选项提供*高1 nm的分辨率

● 高刚度挠性设计：

    ○ X轴和Z轴：1 N/µm 

    ○ Y轴：0.5 N/µm

● 共振频率高：>130 Hz(±10%)

● 一体式单移动平台设计

● 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到*低

● 模块化设计，便于交换驱动器

● 维护成本低，降低总持有成本

上方应用中，NanoMax 3轴挠性位移台通过AMA554高度转接件在6轴位移台前面对准，载物台高度提升到112.5 mm。

概述

Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，*大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。

平行的挠性设计确保j确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计更具有好的性能。

我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的设计，以尽量减少系统中不太涉及到的运动。

公共旋转点

如下图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。

可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点

点P是所有三个旋转轴（偏转、俯仰和摆动）的公共支点。

压电选项

开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 µm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并x除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。

具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的选择。

请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，须在压电驱动器运行之前安装盲塞。

配件的简易对准

我们提供多种配件来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。

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