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KLA R-50方阻测试仪
- 品牌:美国KLA
- 型号: R50
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 上海纳腾仪器有限公司 更新时间:2024-04-17 13:38:49
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
KLA薄膜电阻测量技术方阻测试仪包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。
Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:
半导体晶圆基板
玻璃基板
塑料(柔性)基材
PCB图案特征
太阳能电池
平板显示层和图案化特征
金属箔
二、方阻测试仪主要功能
l 技术规格
测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度: +/- 1%;
重复度: 小于 0.2%;
样品图中无*的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、
极坐标以及自定义等。
Model
Description
R50-4PP
四探针测试
自动XY移动台-100mm*100mm
可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量
可放置直径200mm晶圆样品
R50-EC
非接触涡流测试
自动XY移动台-100mm*100mm
可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量
可放置直径200mm晶圆样品
R50-200-4PP
四探针测试
自动XY移动台-200mm*200mm
可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量
R50-200-EC
非接触涡流测试
自动XY移动台-200mm*200mm
可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量
三、应用
支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。
- 产品优势
- Filmetrics R50 是KLA电阻测试家族的最新产品。R50方阻测试仪是KLA超45年电阻测量技术地位之作。电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要,从半导体制造到可穿戴技术所需的柔性电子产品。R50在金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测均进行了优化加强。