Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台

型号

Carrier200.xy. /xyz.C

运动方向

Carrier.S200.XY : X，Y 方向

Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向

底面尺寸×高度（mm）

182×150×15

主体材料

铝合金/ 不锈钢

自重（g）

1000

运动行程（um）

Carrier.S200.xy : 200×200

Carrier.S200.xyz : 200×200×200

中间通孔尺寸（mm）

77×65

运动分辨率（nm）

2

运动可重复精度（nm）

士20

线性误差

优于 0.1%

共振频率（Hz）

200(X) 150(Y)

ZD负载（g）

500

闭环传感器（闭环版本）

电容式

驱动电压

Max. 150 V

推荐使用温度

-15 ~ 40 °C

质量（kg）

1