常温压电位移台

压电镜架与压电螺纹副AutoScrew.LR系列 特点： • 保持力 100 N，进动力 20 N • 最小步伐 20nm • ZD行程6mm • 停止时自锁，无热量

特点： • 亚纳米级运动控制 • 高速响应50 kHz • ZD行程18um，兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer • 控制器兼容多场科技MC- Archimede

• 闭环分辨率优于 1nm

特点：

Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊ • 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um； • 闭环定位精度优于 1nm； •

三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um

特点： • X方向扫描运动15um,3 um • 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm • 闭环分辨率优于0.1nm

亚纳米标准压电扫描台特点： • 紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程 • 高负载，负载可至500g • 闭环精度优于1nm • 支持超高真空、无磁版本选用

特点：

压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列选型表 型号 Free6D.3-2.150 外形尺寸（mm） Ø150×112 mm

中空压电载物台特点： • 最小步伐尺寸约 20nm • ZG速度10 mm/s • 闭环传感，空间分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm • 支持无磁(NM)

特点： • 超安静运动，20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) • 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选

• 超安静运动，20HZ驱动频率

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台特点： • 超安静运动，20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) • 高精度空间传感分辨率(.0)10n

超安静运动,20HZ驱动频率 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)