赛默飞世尔 X 射线光电子能谱仪 ESCALAB QXi X 射线光电子能谱仪微探针

单色 XPS

双晶微聚焦单色器带有 500 mm 罗兰圆，使用铝阳极（或有双单色器选项的铝银双阳极），测试光斑尺寸在 200 µm 到 900 µm 范围内可选。 

电子枪

与分析仪输入透镜同轴的电子枪用于在使用单色 X 射线源 分析非导电样品 时进行电荷补偿，而 不使用磁透镜时， 双束电子枪产生 两种 低能离子 ， 以协助提供有效的电荷补偿和低能电子。

透镜和分析仪

ESCALAB QXi XPS微探针上的透镜和分析仪系统针对光谱学和平行成像进行了优化；单一分析仪路径意味着相同的仪器参数（例如，通过能）可用于谱图和成像。 

检测器

ESCALAB QXi XPS 微探针配备了两个检测器系统：一个针对光谱进行了优化，由一组六通道电子倍增器组成，另一个用于平行成像，由一对通道板和一个连续位置敏感探测器组成。 

离子枪 

ESCALAB QXi XPS 微探针有两个选项用于快速、高分辨率的深度剖析：标准 EX06 离子枪，针对单粒子模式离子溅射和离子散射光谱进行了优化；以及可选的单粒子和团簇离子源 MAGCIS，它能够应用于单粒子离子剖析、离子簇剖析和离子散射光谱分析。

数码控制

所有分析功能均由基于 Windows 软件的 Avantage 数据系统控制，这意味着可以根据需要远程执行整个分析过程。 

对准和校准

包含铜、银和金样品的标准块可用于评估灵敏度、设置分析仪能量标度的线性度、校准离子源、校准 X 射线单色器以及确定分析仪的转换功能。 

样品对齐

样品台上的所有运动轴均由 Avantage 数据系统控制，仪器上安装了高分辨率数码摄像机，并与分析位置准确对齐。

样品机械手

计算机控制的 5 轴高精度转换器 (HPT) 可实现准确的样品对齐以进行分析。当与新的自动样品装载系统结合使用时，它可用于自动更换样品架和运行预设实验树。

真空系统

分析室由 5 mm 厚的高导磁合金 构成，以最 大限度地提高磁屏蔽效率，并使用涡轮分子泵和钛升华泵对分析室进行抽气，使分析室的真空度优于 5 x 10-10毫巴。

制备室 

标准前处理室是一个组合式的样品入口锁和制备室，具有可容纳各种样品制备设备的端口，例如加热/冷却探针、离子枪、高压气室、样品停放装置和气体入口。 

连接性

测量坐标可以通过Thermo Scientifc Maps软件从专用显微镜系统导入Avantage数据系统，从而更快地识别测量区域。可以将 XPS 光谱和成像数据添加至 Maps 软件中，以便直接比较表面化学和结构信息。