微区磁光克尔及磁圆二色测试系统

主体架构

主体尺寸：长 × 宽 × 高，约 600 mm × 600 mm × 550 mm;
高承重三维电控底座：步进电机位移行程：行程：X*Y*Z 120*120*40 mm；XY最小步进距离： 0.04 um， Z轴最小步进距离：~0.01 um；最 大负载：＞ 10 Kg；
铝合金整体架构；
光路整体移动：1. 光路移出以更换样品；2. 大范围寻找待测区域。
靠近磁体部分采用无磁设计；

显微成像模块

尺寸：长 × 宽 × 高，约 550 mm × 550 mm × 145 mm；
可见光相机：20M pixels，15fps@5K ，50fps@1.8K， Sony 1 英寸CMOS;
物镜： 适配磁体，无磁反射式物镜或非球面透镜；
照明光源： 科勒照明， LED面光源，亮度连续可调；
成像模块可电控完全移出光路，且不影响样品面光斑位置。

MOKE&RMCD模块

外壳尺寸：长 × 宽 × 高，约 550 mm × 550 mm × 145 mm；
包含所需的外置设备：锁相放大器；
低噪声前置放大探头；
光弹调制器；
斩波器；
克尔角分辨率： ~0.5 mdeg  (~ 8.7mrad)；
一次扫场同时获得RMCD和MOKE数据；
电控切换成像与测试；
电控功率；
Mapping功能，配合步进扫描台，或低温设备内置压电台。

Raman532&PL&SHG模块

外壳尺寸：长 × 宽 × 高，约 550 mm × 550 mm × 145 mm；
拉曼最 低波数：＜ 80 cm-1；
空间分辨率：300 nm （532 nm激光）；
电控偏振扫描：起偏&检偏，角度分辨率 0.0144 deg；
电控功率调整；
Mapping功能，配合步进扫描台，或低温设备内置压电台。

532nm窄线宽激光器
MSL-U-532

中心波长：532nm+/-0.1
输出功率：100mw
功率稳定性：2%（4 小时 RMS）
M2：＜1.2
线宽：＜0.00001nm
光斑模式：TEM00
噪声：＜0.5%

软件

MOKE，RMCD，Raman，PL 扫描成像；
偏振扫描；
支持文本代码输入，以实现自动化测试流程；