MF3000M气体质量流量计MF3000S微型流量传感器
产品简介:MF3000系列气体质量流量计采用旁路设计并使用本公司的MEMS流量传感器芯片,集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比,这种时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体,可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化,并结合防水、防油纳米涂层,产品性能和得以大幅度提升。时域流量传感技术还提供了线性度,并使用度效应大幅降低。
MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量,适用于各类清洁、干燥气体。MF3000系列气体质量流量计测量范围覆盖(0-2)SLPM-(0-1500)SLPM,该流量计工作压力提高到0.8MPa,MF3000系列气体质量流量计提供多种信号输出,通过RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置,并可选择NPN或PNP开关信号输出。MF3000系列气体质量流量计同时具备LED数字显示和按键功能,允许用户在现场调整或者查询流量计的参数。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
产品特点:
质量流量,时域传感技术
全量程(0-2)SLPM-(0-1500)SLPM
全量程优良的重复性
可测量多种气体不需要修正
多种输出信号可选
支持多种连接方式,易于安装与使用
工作原理
MF3000系列气体质量流量计是基于铭鸿仪表公司自主研制MEMS流量传感芯片,其原理是利用流动气体传热传质的依存关系,在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感器。当没有气体流过时,MEMS芯片上的微热源周边形成稳定的温度场分布。MEMS芯片上温度传感器将测量到具体的温度变化并转换为电信号,经放大、调理和线性化处理后,通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变化不同,所以能测量气体的质量流量。
技术参数:
流量范围:2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM
量程比:50:1
精度:±(2.5+0.5FS)%
重复性:1.0%
零点稳定度:±30MV
输出漂移:±0.12%/℃
响应时间10MS
工作电源:8-24VDC,50MA
信号输出1:RS485或I²C
信号输出2/3:模拟电流4-20mA/模拟电压:1-5VDC/NPN/PNP
显示方式:4位4段LED数码管,2个指示灯
显示单位:瞬时流量:SLPM;累积流量:SL或Nm³
显示分辨率:瞬时流量:0.01SLPM,累积流量:0.1SL或0.01Nm³
工作压力:0.8MPa
工作温度:-10~+55℃
储存温度:-20~+65℃
工作湿度:<95%RH(无结冰、无凝露)
机械接口:BSRT1/4外螺纹 4、6、8MM快速接头 或8mmL型接头 BSPT1/2内螺纹
按键:三个按键
校准方式:空气(20℃,101.32kPa)
电气接品:6针插座,广濑:DF51K-6P-2DS
符合性:RoHS,REACH
备注:1.为了流量计的测量精度,使用前需要预热一分钟
2. 传感器默认为空气校准,测量 其它气体时,精度会有所下隆
3. 默认响应时间这10MS可通过修改滤波调慢响应时间。
4. 以上参数在为20℃101.325kPa下测得。
输出引线定义:
1、红色:信号输出3:NPN/PNP
2、灰色:信号输出2:模拟电流4-20mA/模拟电压1-5VDC/PNP/NPN
3、蓝色:GND 电源/信号地(-)
4、棕色:VCC电源正8-24VDC(+)
5、黑色:RS485A(+)I²C时钟线(SCL)
6、白色:RS485B(-)I²C数据线(SDA)
流量计的电气接口为DF51K-6P-2DS(广濑),出厂时带一型号为DF51K6-100的配线,长度 为100CM,一端为插头DF51K-6S-2C(与DF51K-6P-2DS配套连接)另一端散口。
报价:¥750
已咨询200次涡轮流量计
报价:面议
已咨询225次MC100标准型流量控制器
报价:面议
已咨询159次MC200高精型流量控制器
报价:面议
已咨询159次M100标准型流量计
◆ TMF-02 系列模拟型质量流量计 MFM/控制器 MFC 是由质量流量传感 器,层流分层件,流量控制器调节阀和控制电路组成,响应快,精度高,控制范围广,量程 范围为 2SCCM~300SLM,最小可以测量调节 1SCCM 的流量,可用于非常小的流量的控制。 ◆ 热式原理,响应快,精度高 ◆ 管状分流,不易堵塞 ◆ 适用于各种低压和高压管道 ◆ 预热时间短,零漂小,可靠性高 ◆ 模拟量输入/输出可使用二次仪表或流量计算机控制和显示流量
◆ MFC 是由质量流量传感 器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预 热时间短,零漂小,可靠性高等特点。 ◆ 热式原理,响应快,精度高 ◆ 管状分流,不易堵塞 ◆ 适用于各种低压和高压管道 ◆ 预热时间短,零漂小,可靠性高 ◆ 模拟量输入/输出可使用二次仪表或流量计算机控制和显示流量,可选配本体显示模块
· 直接测量气体质量流量,不需要任何的温度补偿或者压力补偿。 · ±1.0%高精度,响应时间快,测量的流量范围非常宽泛,即使再很低的流量量程下限的情况下,精度依旧很好 · 应用:工业厂房,油气上下游生产,水和废水处理厂等
专门为测量流体的微小流量而设计研发; 外形美观小巧,传感器内部采用独特的连续性单管路设计,且无焊接、无阻流配件,独特的动平衡结构具有强大的噪声免疫能力,可为特殊行业的应用提供最佳的卫生性、可靠性、安全性和CIP清洁性。 能够直接测量流体的质量,具有高精度,应用范围广(可测量各种非牛顿流体、各种浆液、悬浮液、高粘度流体等),安装要求低(对仪表的前后直管段要求不高),运行可靠、稳定,维修率低等特点。
· 传感器内部U型测量管设计,内部无可移动部件,无任何阻流元件,后期免维护 · 应用于所有行业以及过程控制,贸易结算,装车卸车系统,难以计量的流体 ( 超高温, 超高压,超高粘度 ) ,以及高等科研院校的实验室装置等 · 同时测量流体的瞬时流量,累积流量,温度,密度,油水百分比 · 精度:±0.5%、±0.2%、±0.15%、±0.1%,其他可定制 · 直接测量流体质量。测量精度不受温度,压力,密度,粘度影响 · 安装要求低,无前后直管段要求,操作简单方便 · 测量流体变化的时候,无需重新标定 · 仪表具备双向计量功能
· 传感器内部V型测量管设计,内部无可移动部件,无任何阻流元件,后期免维护 · 应用于所有行业以及过程控制,贸易结算,装车卸车系统,难以计量的流体 ( 超高温, 超高压,超高粘度 ) ,以及高等科研院校的实验室装置等 · 同时测量流体的瞬时流量,累积流量,温度,密度,油水百分比 · 精度:±0.5%、±0.2%、±0.15%、±0.1%,其他精度可定制 · 直接测量流体质量。测量精度不受温度,压力,密度,粘度影响 · 安装要求低,无前后直管段要求,操作简单方便 · 测量流体变化的时候,无需重新标定 · 仪表具备双向计量功能
· 传感器内部三角形测量管设计,内部无可移动部件,无任何阻流元件,后期免维护 · 应用于所有行业以及过程控制,贸易结算,装车卸车系统,难以计量的流体 ( 超高温, 超高压,超高粘度 ) ,以及高等科研院校的实验室装置等 · 同时测量流体的瞬时流量,累积流量,温度,密度,油水百分比 · 精度:±0.5%、±0.2%、±0.15%、±0.1%,其他可定制 · 直接测量流体质量。测量精度不受温度,压力,密度,粘度影响 · 安装要求低,无前后直管段要求,操作简单方便 · 测量流体变化的时候,无需重新标定 · 不需要定期的返厂标定,节省售后维护的费用
支持高纯度氮气、空气或氢气等背景气 装置可稀释各种易燃易爆气体(CH4、C2H6、H2) 和有毒有害气体(CO、H2S、CL2)等 可根据用户使用需求配置不同浓度标气 2~9通道任意可定制,二通道适用于单一气体报警器检定、五通道适用于四合一报警器检定 标配稀释倍数100:1,根据需求可定制范围(100~10000):1