微光显微镜PHEMOS系列
PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微镜，其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插座板到300mm双面晶片探针等等的部件。它还可以适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选配件。该显微镜有多种选配，包括红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析、与大规模集成电路测试机连接和CAD导航功能等，这些选配有助于该显微镜处理多种测量需要。
黑盒照明灯含水银，请根据当地法规处理。
特性
可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜
红外共焦激光显微镜
红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能（选配）
低电压样品用高灵敏度近红外相机（选配）
数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力（选配）
可安装300mm双面半自动探针
显示功能
PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多。
显示功能
注释
图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。
比例显示
可使用分段，在图像上显示比例宽度。
栅格显示
图像上可现实水平和垂直栅格。
缩略图显示
图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示。
分屏显示
模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。
参数
| 产品名称 | PHEMOS-1000 |
|---|---|
| 探测目标 | 器件发光（发光探测功能） 电流改变（IR-OBIRCH功能） |
| 可用器件 | 300 mm 晶片 200 mm晶片 方块形芯片 切割后晶片、封装后器件（取决于探针和样品固定装置） |
| 适配探针 | 200/300 mm晶片用双面半自动探针*1 200/300 mm晶片用双面手动探针*1 200/300 mm晶片用半自动探针（正面观测）*1 200/300 mm晶片用手动探针（正面观测）*1 |
| 尺寸/重量 | 主单元： 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H), Approx. 900 kg*2 控制台：880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 255 kg PC桌：1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg |
| 线电压 | AC220 V (50 Hz/60 Hz) |
| 功耗 | 3000W |
| 真空度 | 约80 kPa |
| 压缩空气 | 约0.5 MPa~0.7 MPa |
*1：根据需求选购。 *2：PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量。
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X15213-03CR 是一款仅有反射相的空间光调制器 (SLM)，基于硅上液晶 (LCOS) 技术，可通过 CMOS 芯片的寻址电压直接控制液晶 (LC) 分子，并且可以高精度、高速调制光束的波前。
X15213-03CL 是一款仅有反射相的空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，可通过 CMOS 芯片的寻址电压直接控制液晶 (LC) 分子，并且可以高精度、高速调制光束的波前。
LCOS 芯片中的失真（如 LC 的波前失真和非线性响应）可通过控制器进行高效校正。使用 X15213 系列可实现简便的 PC 控制、精确的线性相位调制特性。它们还可以提供高衍射效率和高光利用率。
LCOS 芯片中的失真（如 LC 的波前失真和非线性响应）可通过控制器进行高效校正。使用 X15213 系列可实现简便的 PC 控制、精确的线性相位调制特性。它们还可以提供高衍射效率和高光利用率。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
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