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非接触式掩膜对准机
- 品牌：上海孚光精仪
- 型号： fp-aligner
- 产地：德国
- 供应商报价： 面议
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孚光精仪（香港）有限公司
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企业性质
入驻年限第8年
营业执照
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- 详细介绍
这款非接触式掩膜对准机mask aligner 能够适合6英寸,8英寸，12英寸晶圆掩膜对准，是欧洲进口的高精度紫外曝光机.
非接触式掩膜对准机mask aligner全面满足科学研究，工艺级生产等多领域的应用。完全采用非接触式100%标定系统，对晶圆和掩膜没有伤害，大大提高间隙精度
非接触式掩膜对准机mask aligner适合各种电子元器件，包括半导体，LED,LD,MEMS，传感器等。Alignment Scope Objectives separation 15 ~ 75mm Total magnification 100X Illuminator for observation Red LED (l=633 nm) X, Y Movement range of stage ±5 mm Adjustment ±5° Utility Power source for main body and mercury lamp AC 100V 50/60Hz 15A Vacuum source Below 21.3 Kpa (-80 Kpa from atmospheric pressure) Exposure Unit Lens Integrator lens Mercury lamp 250W ultra-high pressure vapor mercury lamp Effective exposure area Max 100 mm Intensity distribution ±5% or less Intensity of illumination 20 mW/cm2 (405 nm) Exposure time control Digital timer and rotary solenoid Mercury Lamp Lighting Unit AC 110V
