加热型紫外臭氧清洗机

紫外灯

• 可发出双波长的水银灯

• 功率：55W

• 发出光的波长：254 nm 和185 nm

• 使用寿命：2500 小时（可在本公司购买紫外灯来更换）

• 照射区域：200 x 200 mm

腔体&样品台

• 不锈钢壳体

• 抽屉式样品台，以便放样取样

• 样品台面积310 mm x 320 mm

• 臭氧通风装置安装在腔体上

• 样品台与紫外灯的距离：20mm-40mm（可调）

• 样品台可以加热，最高温度可达150℃

• 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃

• 设备运行时间：0.01 秒-99.9小时

排气口

• 直径为80mm的排气口安装在仪器后端

• 请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

• 仪器中不包含橡胶管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重

28kg

质保期

一年质保期，终生维护（不包含紫外灯）

应用

• 去除分子级别的污染物

• 紫外光固化粘合剂

• 紫外光催化

• 氧化PDMS

• 表面消毒

• 刻蚀

• 清洗MEMS 器件

• 清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片