Si上镀Al薄膜

常规尺寸：

dia4" ±0.5mmx0.525 ±0.025mm

技术参数：

Al薄膜厚度：3um

薄膜电阻率：2.65microohm-cm

薄膜结晶：Weak(111)-orientedpoly-crystals

薄膜表面粗糙度：4.87nmand<10nmSi

导电类型：N型Si

电阻率：<0.005?ohm-cm?；1-10ohm-cm?

Si晶向：<100>±0.5°抛光情况：单抛

标准包装：

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装