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EXT型涡轮分子泵

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详细介绍

仪器简介:
EdwardsEXT系列涡轮分子泵

BOCEdwardsEXT泵适用于除最苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承,EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。
BOCEdwardsEXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一,使用起来更加方便。OEM或有电源的用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮,这可以降低成本。另外还具有如下优点:无油(涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染);低维护(无轴承接触,无机械磨损);低振动(比一般轴承的振动低一个数量级);减少冷却(对许多应用来说自然冷却即可);定位任意(可以安装在任意位置)。




技术参数:
订货信息
型号 描述
EXT70 EXT70 DN63 ISO-K TMP SE72201000
EXC100E EXC100E SE39620000
EXC100L EXC100L SE39622000
EXC120 EXC120 SE39616000

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