爱德华STP-iXA2206

STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领xian的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STP-iXA2205系列的zui*技术 ）。该泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

用途

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

电子回旋共振(ECR)刻蚀

薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

功能与优势

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

创新性自传感轴承系统

数字化5轴控制

与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%

可以配置为运行腐蚀性制程

技术数据

*最大气流适用于在15-25°C之间的水冷却温度下连续泵送N2或Ar气体，并且使用前级泵（10,000l/min大小）的情况。它会随条件变化而变化。