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自动传输共溅镀系统
- 品牌:毅睿/芯壹方
- 型号: 定制 详情15345079037
- 产地:福建 厦门
- 供应商报价:面议
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厦门毅睿科技有限公司
更新时间:2025-02-17 14:25:22
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销售范围售全国
入驻年限第1年
营业执照已审核
- 同类产品真空镀膜系统(20件)
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详细介绍
自动传输共溅镀系统
Auto Load Lock Co-Sputter Cluster System
●腔体:Loading, Co Sputter Transfer
●基板尺寸:2”-6”Wafer或其他尺寸
●溅镀源:4eax 3 Inch Sputter Cathodes
●基板加温:300 To Max 950℃
●自动传输制程